PRODUKTY
Funkce
Materiál: | Wolfram, slitina wolframu |
Čistota: | 99 procent |
Tvar: | Podle výkresů |
Velikost: | Podle výkresů |
Popis součástí pro implantaci wolframových iontů
Wolfram je tvrdý kov s lesklým a stříbřitě bílým vzhledem. Je odolný vůči oxidaci a napadení kyselinami a zásadami. Je to objemný kov a má nejvyšší bod tání ze všech kovů. Chemický název wolframu je wolfram, reprezentovaný W. Jeho atomové číslo je 74 a patří do kategorie přechodných kovů, perioda 6 periodické tabulky prvků.
Iontová implantace je důležitý proces, který se široce používá při výrobě polovodičových zařízení, povrchové úpravě kovů a výzkumu materiálů. Jde o nízkoteplotní proces, při kterém jsou ionty prvku urychlovány na pevný terč, čímž se mění fyzikální, chemické nebo elektrické vlastnosti terče.
Iontový implantátor je klíčové zařízení při výrobě integrovaného obvodu. Když jsou iontové paprsky vystřeleny na povrch polovodiče a naneseny, změní se koncentrace nosiče a typ vedení. Díky své vynikající povrchové úpravě je iontová implantace široce používána v polovodivých materiálech, kovu, keramice, vysokomolekulárních polymerech atd.
Iontová implantace je nezbytná při výrobě masivního integrovaného obvodu (IC). Komponenty iontové implantace jsou často vyrobeny z TZM, molybdenu a wolframu, protože tyto materiály by mohly dobře fungovat v drsných prostředích díky své odolnosti proti korozi, pevnosti a vysoké tepelné vodivosti. Nejdůležitější částí systému implantátoru je dráha paprsku, ve které jsou součásti zapojeny. Zde jsou ionty generovány, koncentrovány, urychlovány a nasměrovány směrem k waferu.
Produkty pro polovodičový průmysl
Komory (wolfram, molybden a slitiny)
Vlákna (wolfram a slitiny wolframu)
Obloukové štěrbiny (wolfram, molybden a slitiny)
Držáky (wolfram, molybden a slitiny)
Katody (wolfram, molybden a slitiny)
Náhradní díly (wolfram, molybden a slitiny, keramika, ocel)
Specifikace a chemické složení
Materiál | Typ | Chemické složení (hmotnostně) |
Čistý wolfram | W1 | >99,95 procent min. Mo |
Wolframová slitina mědi | WCu | 10 procent ~ 50 procent Cu / 50 procent ~ 90 procent W |
Tungten těžká slitina | WNiFe | 1,5 procenta - 10 procent Ni, Fe, Mo |
Tungten těžká slitina | WNiCu | 5 procent - 9,8 procent Ni, Cu |
Wolfram Rhenium | WRe | 5,0 procent Re |
Moly Tungsten | MoW50 | {{0}},0 procent W |
Chemické vlastnosti wolframu
Chemické údaje | |
Číslo CAS | 7440-33-7 |
Tepelný neutronový průřez | 19,2 barn/atom |
Elektrodový potenciál | 4.5 V |
Iontový poloměr | 0.620 Å |
Elektronegativita | 1.7 |
Rentgenová absorpční hrana | 0.17837 Å |
Elektrochemický ekvivalent | 3.43 g/A/h |
Fyzikální vlastnosti wolframu
Vlastnosti | Metrický | Císařský |
Hustota | 19,3 g/cm3 | 0,697 lb/in3 |
Bod tání | 3370 stupňů | 6100 stupňů F |
Bod varu | 5900 stupňů | 10700 stupňů F |
Mechanické vlastnosti wolframu
Vlastnosti | Metrický | Císařský |
Pevnost v tahu | 980 MPa | 142 000 psi |
Modul pružnosti | 400 GPa | 58 000 ksi |
Tažný modul | 156 GPa | 22 600 ksi |
Poissonův poměr | 0.28 | 0.28 |
Tvrdost, Brinell | 294 | 294 |
Tvrdost, Vickersi | 310 | 310 |
Tvrdost, Knoop | 318 | 318 |
Tvrdost, Rockwell A | 66 | 66 |
Tvrdost, Rockwell C | 31 | 31 |
Tepelné vlastnosti wolframu
Vlastnosti | Metrický | Císařský |
Koeficient tepelné roztažnosti (@20-100 stupeň /68-212 stupeň F) | 4,40 µm/m stupně | 2,44 µin/in stupeň F |
Tepelná vodivost | 163,3 W/mK | 1133 BTU v/h.ft². stupeň F |
Aplikace komponent pro implantaci wolframových iontů a související odvětví
● Výroba polovodičů
● Povrchová úprava kovů pro kalení nástrojové oceli a povrchovou úpravu
● Míchání iontovým paprskem pro dosažení odstupňovaného rozhraní a posílení adheze mezi nemísitelným materiálem
● Výzkum a laboratoř
● Polovodič
● Kov
Populární Tagy: komponenty pro implantaci wolframových iontů, Čína, dodavatelé, koupit, na prodej, vyrobené v Číně
Mohlo by se Vám také líbit
Odeslat dotaz
